圖中為兩臺螺桿LGB180作為前級泵,分別連接一臺羅茨真空泵R600,作為一級增壓,然后匯總到一臺R2500羅茨泵,作為二級增壓。
此真空機組可實現(xiàn)極限真空度0.01Pa以內,并在泵口增加過濾系統(tǒng)。多種電磁閥協(xié)同,配合其他閥門聯(lián)合組成一套復雜真空系統(tǒng)。為復雜的工藝要求提供高可靠性解決方案和真空產品。
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